據 Acp 系統稱(chēng)，這家多結太陽(yáng)能電池制造商需要一種集成到等離子體增強化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 工藝中的全自動(dòng)解決方案來(lái)提高生產(chǎn)率，但同時(shí)也要精確、小心地處理基于鍺基板的高價(jià)值太陽(yáng)能電池。
新解決方案旨在確保滿(mǎn)足工件托架嵌套中規定的 +/- 0.1 毫米定位精度，并補償托架的制造公差和裝載過(guò)程中冷卻引起的收縮。
為了應對這一挑戰，我們開(kāi)發(fā)了一種智能視覺(jué)輔助晶圓處理解決方案，即支持雙面鍍膜的工業(yè)級選擇性柔順關(guān)節型機械臂 (SCARA) 機器人。該機器人安裝并集成在 Singululs Technologies PECVD 系統的晶圓盒裝載區內。
Acp Systems 的一位發(fā)言人證實(shí)：“新系統于 2024 年 6 月投入使用，自那時(shí)起就再也沒(méi)有發(fā)生過(guò)與處理相關(guān)的晶圓破損事故。”
該解決方案至少包含兩個(gè)相機子系統——Cognex Vision Pro 機器視覺(jué)軟件和 SCARA 機器人。后者的機械臂伸展范圍達 1,000 毫米，可以從晶圓盒中拾取晶圓，并將其可靠、準確地放入工件托架上幾百微米大的碳纖維槽中，并執行其他任務(wù)。
機械臂配備扁平真空夾持器，可快速更換以處理不同尺寸的晶圓。該系統還配備一個(gè)翻轉站，用于翻轉待雙面涂覆的太陽(yáng)能電池。Acp Systems 表示：“根據電池尺寸，1,000 毫米 x 600 毫米的載具可容納 4 片、9 片或 16 片晶圓。”
一臺1200萬(wàn)像素的攝像頭可檢測背光校準臺上晶圓的精確位置，并在整個(gè)過(guò)程中將信息發(fā)送到機器視覺(jué)軟件。該軟件提供控制和計算能力，即使晶圓和晶圓盒與原始尺寸、形狀或厚度存在偏差，也能實(shí)現精確定位和處理。例如，在高達350°C的溫度下，涂層工藝后冷卻導致晶圓熱收縮的情況。
最后，使用攝像系統進(jìn)行質(zhì)量控制，確保在將涂層太陽(yáng)能電池放回盒中之前，晶圓的邊緣沒(méi)有損壞。
Acp Systems成立于1997年，為太陽(yáng)能光伏、電子、半導體、汽車(chē)、醫療和制藥制造行業(yè)提供技術(shù)。該公司最近開(kāi)發(fā)了quattroClean雪噴射清潔系統，該系統集成到德國Sciprios公司生產(chǎn)的鈣鈦礦太陽(yáng)能電池和有機光伏(OPV)制造設備中。
